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条
Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用
作者：
骆如枋
严荣华
陆玉萍
来源：
传感器技术
年份：
1987
文献类型 ：
期刊
关键词：
湿度传感器
MOS
二次仪表
下电极
在线检测
攻关项目
Si
微电子工业
电容值
湿敏
描述：
一、Si—MOS湿度传感器及其二次仪表 Si—MOS湿度传感器系上海市“六五”攻关项目,由中科院上海冶金所研制成功。该传感器在本质上是一个以低阻单晶硅衬底和多孔Au膜为上、下电极,以多孔Al2O3为湿敏介质的MOS电容结构
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