Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用

【类型】期刊

【作者】骆如枋 严荣华 陆玉萍 

【关键词】 湿度传感器 MOS 二次仪表 下电极 在线检测 攻关项目 Si 微电子工业 电容值 湿敏

【刊名】传感器技术

【出版日期】1987-01-01

【ISSN】1000-9787

【页码】49-52

【期号】第3期

【作者单位】中国科学院上海冶金研究所；中国科学院上海冶金研究所

【摘要】一、Si—MOS湿度传感器及其二次仪表 Si—MOS湿度传感器系上海市“六五”攻关项目,由中科院上海冶金所研制成功。该传感器在本质上是一个以低阻单晶硅衬底和多孔Au膜为上、下电极,以多孔Al2O3为湿敏介质的MOS电容结构

【全文挂接】 获取全文